格里爾斯質(zhì)量流量控制器工作原理：

　　氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司特別的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

注意:

　　質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠(chǎng)通常用氮?dú)鈽?biāo)定.

　　質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

　　標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);

　　氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）

　格里爾斯質(zhì)量流量控制器主要技術(shù)指標(biāo)